檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電子工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="反應式磁控濺鍍"
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本論文主要利用純度為99.95%釕靶材,藉由反應式射頻磁控濺鍍系統來研究二氧化釕成長於奈米碳管上之複合物分析,和對於此複合物做初步電容測試探討。利用不同的濺鍍條件,基板成長的溫度不同,可控制晶系結構…